半導體有機廢（fèi）氣處理方法（fǎ）

1.半導體有機廢氣簡述

隨著半導體產業的快速發展，然而在其生產過程中產生有機廢氣汙染物（wù）。這些廢氣汙染物，未（wèi）經過淨化（huà）處理（lǐ），直接排放進入空氣中，不僅造成周邊大氣環境（jìng）汙染（rǎn），還會對周圍居住居民身體健康產生傷害（hài），因此，需（xū）要對半（bàn）導體有機廢氣進行收（shōu）集（jí）淨化處理後達標排放。

2.半導體有機廢氣處理方法

半（bàn）導體在生產過（guò）程中產生有機廢氣等汙染物。而目前對於有機廢氣處理方法（fǎ）有很多種，常見主要（yào）有活性炭（tàn）吸附法、燃燒法、UV光解淨化法等（děng），下（xià）麵天浩洋環保小編詳細介紹半導體有機（jī）廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附（fù）法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子（zǐ）篩等）來處理有機廢氣，這樣就能（néng）夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成（chéng）分，並且將其吸附在吸附（fù）劑的表麵，從而達到淨化有（yǒu）機廢氣的目的。吸附法（fǎ）目前主（zhǔ）要應用於大（dà）風量、低濃度（dù）（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫（wēn）的低濃度（dù）有機廢氣淨化處（chù）理。

活（huó）性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資（zī）低。在吸附飽（bǎo）和以後需要更換新的活性炭，更換（huàn）活性炭需要費用，替換下來的飽和以（yǐ）後的活性炭也是需要找專業（yè）人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發（fā）性有機物在高溫及空氣充足的條件（jiàn）下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力（lì）燃燒和催（cuī）化燃（rán）燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高（gāo）濃度廢（fèi）氣一（yī）般采用直接燃燒（shāo）法，該方法將VOCs廢氣（qì）作為燃料進行燃燒（shāo），燃燒溫度一（yī）般控製在1100℃，處理效率高（gāo），可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法（fǎ），廢氣中VOCs濃度（dù）較低，需要借助（zhù）其他燃料或（huò）助燃氣體，熱力燃（rán）燒所需的溫（wēn）度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理（lǐ）效率高，但VOCs廢氣若含（hán）有S、N等元素，燃燒後產生的（de）廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒（shāo）或者催化（huà）燃燒法處理有機廢氣，其（qí）淨化（huà）率是比（bǐ）較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣（qì）排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地（dì）麵積。熱力燃（rán）燒比較（jiào）適合24小時連續不斷運行且濃（nóng）度（dù）較高而穩定的（de）廢氣工況，不適合（hé）間斷性的生產（chǎn）產線工（gōng）況。催化燃燒的投資和運（yùn）營費（fèi）用相對熱力燃燒較低，但淨化效率（lǜ）也相對較低（dī）一（yī）些；但（dàn）貴金屬催化（huà）劑容易（yì）因為（wéi）廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失（shī）效，而更換催化（huà）劑的費用很高（gāo）；同（tóng）時（shí）對廢氣進氣條件的控（kòng）製非常嚴格，否則會造成（chéng）催化燃燒（shāo）室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高（gāo）能UV紫外線光束分解（jiě）空氣（qì）中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正（zhèng）負（fù）電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭（chòu）氧，臭氧具（jù）有很（hěn）強的氧化（huà）性，通過臭氧（yǎng）對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解（jiě）氧化（huà）作用，使有機廢氣、惡（è）臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具（jù）有高效處理效率，可達到（dào）95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣（qì）量，不同有（yǒu）機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩（wěn）定可（kě）靠，每天可24小時連續（xù）工作；運（yùn）行成本低，設備耗能（néng）低，無需專人（rén）管理與（yǔ）維護，隻需作定（dìng）期檢查。UV光解法因采用光解原理（lǐ），模塊采（cǎi）取隔爆處（chù）理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性（xìng）能高，設備性能安全穩定，特別適（shì）用於化工、製藥（yào）等防爆要求高的行業。

以上（shàng）關於半導體有機廢氣處理方法介（jiè）紹，希望可以（yǐ）幫到您，其實對（duì）於半導體有機廢氣處理，一般是需（xū）要根（gēn）據（jù）廢氣的濃度、產生量、廢（fèi）氣成分、如何（hé）收集等方麵進行（háng）設計收集（jí）處理。如（rú）果您有半導體有機廢氣需要（yào）淨化處理，可以隨時（shí）撥打400 808 2272電話，谘詢（xún）天（tiān）浩洋環保,為您提供半導體有機廢氣處理方案及設備。