1.集成電路製造行業廢氣簡述

集成（chéng）電路製造行業廢氣主要成分是揮發性有機物VOCs。集成電路芯片生產過程中使用大量的（de）有機溶劑如（rú）清（qīng）洗劑、光刻膠、剝離液（yè）、稀（xī）釋液等（děng），從而產生一定量的VOCs廢氣，不僅造成大氣汙染（rǎn），還可能會導致廠區（qū）環境異味，因此進行VOCs廢氣治理，實現達標排放。

1.1集成電路製造行業（yè）VOCs主要來（lái）源

集成電路製造行業VOCs來源主要集（jí）中在揮發性有機溶劑的使用、載運（yùn）、儲存。載（zǎi）運過程包括有機溶劑的原料載入及廢有機溶劑的載出過程，溶（róng）劑儲罐與槽車之（zhī）間的接口（kǒu）等處有機（jī）溶劑揮發。有（yǒu）機溶劑的（de）儲存主要（yào）包（bāo）括儲罐（guàn）儲存，化學品桶裝儲存及瓶裝儲存。有機溶劑儲（chǔ）罐的排（pái）氣、儲存過程中的不密（mì）封或意外（wài）泄露也是VOCs的來源（yuán）。

1.2集成電路行業VOCs主要成分

集成電路行業有機廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮，此（cǐ）兩項物質（zhì）占（zhàn）比達VOCs主要成分80%-100 %，其（qí）中（zhōng）異（yì）丙醇（chún）占比55%以上，丙酮（tóng）占比5%-34%。

2.集成電路（lù）行業VOCs廢（fèi）氣處理方法

集成電路行業廢氣主要成分VOCs廢氣，目（mù）前對於VOCs廢氣處理（lǐ）方（fāng）法主要（yào）有活性炭吸附法、低溫等離子法、燃燒法、UV光解法。

（1）活性炭吸附法

吸附法主要原理（lǐ）就是利用多孔固（gù）體吸附（fù）劑（jì）（活性（xìng）碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣（qì），這樣就能夠通（tōng）過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸（xī）附劑的表麵（miàn），從而（ér）達到淨化（huà）有機廢氣的目的（de）。吸附法目前主要應（yīng）用於大風（fēng）量、低濃度（≤800mg/m³）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到95%以上），實用遍及，操縱（zòng）簡單，投（tóu）資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業（yè）人（rén）員（yuán）進行危廢處理，運行費用高。

（2）低溫等離子法

低溫等（děng）離子法利用等離子（zǐ）體內部（bù）產生（shēng）富含極高化學活性的特點，使用高壓放電裝置在放電時產生（shēng）高能電子和離子，將空氣中的氧分子進行分離，氧分子吸收能量後產生遊離（lí）態的氧（yǎng）離子，有機廢氣汙染（rǎn）物與遊離氧基團發生反應，最終轉化為（wéi）CO2和H2O等物（wù）質，從而達到淨化廢氣的目（mù）的。

此種方法具有適用（yòng）範圍廣，淨化效率高，設備占地麵積（jī）小特點，適用於其他方法（fǎ）較難處理的有機（jī）廢（fèi）氣體（tǐ）；但由於采用高壓放電裝置（zhì），在含水、含塵、有機廢氣濃（nóng）度較（jiào）高的（de）密閉空間易發生爆炸，存在（zài）安全（quán）隱患，因而限製了其使用。

（3）燃燒法

燃燒（shāo）法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充（chōng）足的條件下進行完全燃燒，分解（jiě）為CO2和H2O。燃燒法適用於各類（lèi）有機廢（fèi）氣，可以分為直接燃（rán）燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度（dù）大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法（fǎ）將VOCs廢氣作為燃（rán）料進行燃燒（shāo），燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高（gāo），可以達到95％-99％。

熱力燃燒法適合（hé）於處理（lǐ）濃（nóng）度在1000-5000 mg/m³ 的廢（fèi）氣，采用熱力（lì）燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借（jiè）助其他燃料或助燃氣體，熱力（lì）燃燒所需的溫度較直接燃燒（shāo）低，大約為540-820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處（chù）理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法（fǎ）處理有機廢氣，其淨化率是比較高（gāo）的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收（shōu）集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占（zhàn）地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運（yùn）行（háng）且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工況（kuàng），不適合間（jiān）斷性的生產產線工（gōng）況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力（lì）燃（rán）燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但（dàn）貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜（zá）質（zhì）（如硫化物）等造成中毒失效（xiào），而更換催化劑的費（fèi）用很高（gāo）；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則（zé）會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（4）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光（guāng）束分解空（kōng）氣中的氧分子（zǐ）產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧（yǎng）所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭（chòu）氧具有很強（qiáng）的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡（è）臭（chòu）氣體進（jìn）行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可（kě）適應中低濃（nóng）度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠（kào），每天可24小（xiǎo）時連續（xù）工作；運行成本低本，設備耗能低（dī），無需專人管理（lǐ）與維（wéi）護，隻需作定期檢查。UV光解法（fǎ）因（yīn）采用光解（jiě）原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱（yǐn）患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適（shì）用於采油(氣)田、石油化工（gōng）、製藥等防爆要求高的行業。

以上關於集成電路製造行業廢（fèi）氣處理方法以及工藝（yì）介紹，希望可以幫到您，其實對於集（jí）成電路製造行（háng）業廢氣處理，一般是需要根據（jù）廢氣的濃度、產生量（liàng）、廢氣成分、如何收集等方麵進行（háng）設計。如果您有集成電（diàn）路製造行業廢氣處（chù）理需要淨化處（chù）理（lǐ），可以隨時撥打400-808-2272 電話，谘詢天浩洋環保,為您提供集成電路製造廢氣處理方案及（jí）設（shè）備。