1.平板顯示（shì）器製造廢氣簡述

近年來（lái），智能手機（jī）、平板電腦、液晶電視、筆記本電（diàn）腦等（děng）電子產品受益於終端消費市場需求的持續增長，製造這些產（chǎn）品的平板顯（xiǎn）示產業規模不（bú）斷壯大。平板顯示器是近年來發展較快的高新技術行業，平板（bǎn）顯示業已經逐漸（jiàn）成為我國國（guó）民經濟發展進程中一項必（bì）不可少的基（jī）礎性及戰略性產業。平板顯示行業製程過程中需要使用幾（jǐ）百種化學品，這就間接導致了平板製造業生（shēng）產過程中的廢氣汙染具有種類繁多、組分複雜（zá）特點，以及對工廠車間及周（zhōu）邊環境產生嚴重的影響，因此，必須對平板顯示器製造產生廢氣進行淨化處理後，達到大氣汙染物排放要求。

1.1 平板顯示器製（zhì）造廢氣汙染物來源

平（píng）板顯示器生產過程按工序劃分為陣列生產工序、彩膜生產（chǎn）工序、成盒生產工（gōng）序（xù）、有機蒸（zhēng）鍍生產工序（xù）、模組（zǔ）工序等。

酸性廢氣主要來自陣列生產工序（xù）濕（shī）法刻蝕酸性原料揮發（fā）產生（shēng）的廢氣，以及準分子（zǐ）激光退火裝置定期排放的介質氣體，主要汙（wū）染物為HCl、氟化物（wù）等酸霧。

堿性廢氣主要來（lái）自陣列、彩膜（mó）生產工序顯影過程產生的堿性揮發性（xìng）物質（zhì），主（zhǔ）要汙染（rǎn）物為NH。

幹法刻蝕和化學氣（qì）相沉積廢氣主要來自於（yú）一些氣體原料在進行幹法刻蝕過程產生（shēng）一定（dìng）量的反應廢氣和未反應的原料氣，主要汙染物為N0、SiH、NH₃、NF₃、PH₃、BF₂、Cl₂、SF6、CF4、C4F8、、BCl₃。和（hé）反應廢氣氟化物（wù）和氯化（huà）物等。

有機（jī）廢氣主要來自於生產過程中有機原（yuán）材料中有機氣體的（de）揮發，主要汙染物非甲烷總烴。

2.平板顯示器製造廢氣處理（lǐ）方法

平板顯示器製造生產過程產生廢氣主要為（wéi）酸性廢氣、堿性（xìng）廢氣（qì）、幹法刻蝕和化學（xué）氣相（xiàng）沉積廢氣、有機廢氣，對於這些廢（fèi）氣處理方法有哪些（xiē）呢？接下來，天浩洋環保小編詳細（xì）介紹（shào）平（píng）板顯示器製（zhì）造（zào）廢氣處理方法。

2.1 酸性廢氣處理方（fāng）法

酸性廢氣（qì）主要汙染物為HCl、HF、氮氧化物等（děng）。該類廢氣主要使用氫氧化鈉濕式填料洗滌塔（tǎ）進行酸堿中和淨化處理（lǐ），洗（xǐ）滌液選擇濃度為4%的（de）氫（qīng）氧化鈉溶液，廢氣經洗滌塔（tǎ）酸堿中和處理後，達到國家排放標準（zhǔn）後排放。

2.2 堿性（xìng）廢氣（qì）處理方法

堿（jiǎn）性廢氣主要（yào）廢氣汙染物為NH₃。該（gāi）類廢氣主（zhǔ）要是用硫酸濕（shī）式填料洗滌塔進行酸堿中和淨化處理，洗滌液選擇（zé）濃度4%的硫酸溶液，廢氣經（jīng）洗（xǐ）滌塔酸堿中和處理後，達到國家排放標準後排（pái）放。

2.3 幹（gàn）法刻蝕（shí）和化學氣相沉積廢氣處理方法

幹法刻蝕和化學氣相沉積廢氣汙染物主要為（wéi）SO₂、HCl、氟化物、NOx、NH₃、Cl₂等，該類廢（fèi）氣經過堿性濕式填料洗滌塔（tǎ）酸堿中和淨化處理，洗滌液選擇（zé）濃（nóng）度為4%的NaOH和NaHSO₃溶（róng）液，淨化（huà）後（hòu）廢氣通過排氣筒高空排放。

2.4 有（yǒu）機廢氣處理方法

有機廢（fèi）氣主要（yào）汙染物非甲烷總烴。該類廢氣主要處理方法有活性炭吸附（fù）法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵詳細介紹（shào）非甲烷總烴廢氣處（chù）理方法。

（1）活性炭吸附法

活性（xìng）炭吸附法（fǎ）主要原理（lǐ）就是利用多孔固體吸附（fù）劑（活（huó）性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就（jiù）能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表（biǎo）麵，從而達（dá）到淨化有機廢氣的目的（de）。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（dù）（≤800mg/m3）、無顆（kē）粒物、無粘性物、常溫的低濃度（dù）有（yǒu）機廢氣淨（jìng）化處理。

活（huó）性炭淨化率（lǜ）高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性（xìng）炭（tàn）需要（yào）費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高（gāo）。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條（tiáo）件下進行完全燃燒，分解為CO2和（hé）H2O。燃燒法適用於各類有（yǒu）機廢氣（qì），可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催（cuī）化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製（zhì）在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法（fǎ）適合於處理（lǐ）濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法（fǎ），廢（fèi）氣中VOCs濃度較（jiào）低，需要借助其他（tā）燃（rán）料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為（wéi）540—820℃。燃燒（shāo）法處理VOCs廢氣處（chù）理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次（cì）汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢（fèi）氣，其淨化率是（shì）比較高的，但是其投資運營成本極高（gāo）。因廢氣排放的點（diǎn）多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝（zhuāng）置需要多套且（qiě）需要很大的占地麵積。熱力（lì）燃燒（shāo）比較適合24小時連續不斷（duàn）運行（háng）且濃度較高（gāo）而穩定的廢（fèi）氣工（gōng）況，不適合間斷性的生產（chǎn）產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬催化（huà）劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造（zào）成中毒失效，而更換催化劑（jì）的費用很高；同（tóng）時對廢氣進氣條件的控製非常嚴（yán）格，否則會造（zào）成催化燃燒室堵塞（sāi）而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法（fǎ）利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊（yóu）離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶（dài）正（zhèng）負電子不平衡所（suǒ）以需與（yǔ）氧分子結合，進而產生臭氧（yǎng），臭氧（yǎng）具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同（tóng）光解氧化作用，使有機廢氣、惡（è）臭氣體物質（zhì）降解轉化成低分子化合物、CO2和（hé）H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以（yǐ）上；適應性強，可適應中低濃度（dù），大（dà）氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行（háng）成本低（dī），設備耗能（néng）低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理（lǐ），消（xiāo）除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全（quán）穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高（gāo）的行業。

以上關於（yú）平板顯示器製造（zào）廢氣處理方法介紹，希望（wàng）可以幫到（dào）您，其實對（duì）於平板顯示器製造廢氣處理，一般是需要根（gēn）據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等（děng）方麵進行設計收集處理。如果您有平板顯示器製造廢氣需要淨化處理，可以隨（suí）時撥打（dǎ）400 808 2272電話，谘詢天浩洋環保,為您提（tí）供平板顯示（shì）器製造廢（fèi）氣（qì）處理方案及設備。