1.芯片（piàn）廢氣簡（jiǎn）述

芯（xīn）片作為電子產品核心部件，隨著電子產品（pǐn）的應用越來越廣泛，芯片（piàn）的（de）需求量在不斷的增長（zhǎng）。但是（shì）芯片廠在生產工藝中使用各種酸液（yè）、堿液、有（yǒu）機溶劑等產生HF、HCl、硫酸霧、氨氣、有機廢氣等汙染物。這些廢氣汙染物，若沒（méi）有經過淨（jìng）化處理就直接排放，將會對環境造成嚴（yán）重大氣（qì）汙染，還會危害周圍居民健康。因此需要對芯片（piàn）廢氣進行（háng）淨化處理後達標排放。

2.芯（xīn）片廢氣處理方法

芯片在生產（chǎn）過程產生HF、HCl、硫（liú）酸霧、氨氣（qì）、有機廢氣等廢氣汙染物（wù），對於HF、HCl、硫酸霧等酸性廢氣采用噴淋堿洗即可處理，氨氣堿性處理采用噴（pēn）淋酸性處理，而對於有機廢氣處理方法有很多種（zhǒng），常見主要有活性炭吸（xī）附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋小（xiǎo）編詳（xiáng）細介紹芯片廢氣處理方法。

2.1酸堿性廢氣處理方法（fǎ）

酸性廢氣處（chù）理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以（yǐ）10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸（suān）液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌淨化法，在電子行業生產中應用相當普（pǔ）遍，具有運行穩定，處理效果好，投資少，處理費用低等優點（diǎn）。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法（fǎ）

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理（lǐ）有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害（hài）成分，並且將其（qí）吸附（fù）在吸附劑的表麵，從而達到（dào）淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應（yīng）用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫（wēn）的低濃（nóng）度有（yǒu）機廢氣淨化處理（lǐ）。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在（zài）吸附飽和（hé）以後需要更換新（xīn）的活（huó）性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽（bǎo）和以後的活性炭也是需要找專業人員進行危廢（fèi）處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充（chōng）足的條件下進行完全燃（rán）燒，分解為CO2和H2O。燃（rán）燒法適用於各類有機廢氣，可以分為直接（jiē）燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於（yú）5000mg/m³ 的高（gāo）濃度廢氣一般采用直接燃燒（shāo）法，該（gāi）方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理（lǐ）效率（lǜ）高，可以（yǐ）達到95％一99％。

熱力燃（rán）燒法適（shì）合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的（de）廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或（huò）助燃氣體，熱力燃燒所需的溫（wēn）度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨（jìng）化率（lǜ）是比較高的，但是其投資運營成本（běn）極高。因廢氣排放（fàng）的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地（dì）麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工（gōng）況，不適合間斷性的生（shēng）產產線（xiàn）工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨（jìng）化效率也相對較低一些；但貴金屬（shǔ）催化劑容易因為（wéi）廢氣（qì）中（zhōng）的雜質（如硫化物（wù））等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢（fèi）氣進（jìn）氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線（xiàn）光束分解（jiě）空氣中（zhōng）的氧分子產生遊離氧（即（jí）活性氧），因遊離氧所攜帶（dài）正負電子不平衡所以需（xū）與（yǔ）氧分子結合（hé），進而產生臭（chòu）氧，臭氧具有很強（qiáng）的氧化性，通過臭氧對有機（jī）廢氣、惡臭氣體進行協（xié）同光解（jiě）氧化（huà）作用，使有機廢（fèi）氣、惡（è）臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化（huà）法具有高效處理效率，可達到95%以上；適（shì）應性強，可適應中低濃（nóng）度，大（dà）氣量，不同有機廢（fèi）氣以（yǐ）及惡臭氣體（tǐ）物（wù）質的淨化處（chù）理；產品性能（néng）穩定，運行穩定可（kě）靠，每天可24小時連續工（gōng）作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理（lǐ）與維護，隻（zhī）需作定（dìng）期檢查（chá）。UV光解法因（yīn）采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患（huàn），防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高（gāo）的（de）行業。

以上關於芯片廢氣處理方法（fǎ）介紹，希望可（kě）以幫到您，其實對於芯片廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如（rú）何收集等方麵進行設計收集處理。如（rú）果您有芯片廢氣（qì）需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天浩洋環（huán）保,為您提供芯片（piàn）廢氣處理方案及設備。